超精密加工:納米級加工
納米級加工的含義
納米級加工的含意是達到納米級精度,包含:納米級尺寸精度,納米級幾何形狀精度、納米級表面質(zhì)量。
納米級加工的特點
1、欲得到l nm的加工精度,加工的最小單位必然在亞納米級。由于原子間的距離為0.1-0.3nm,納米級加工實際上已到加工精度的極限
2、納米級加工中試件表面的一個個原于或分子將成為直接的加工對象,因此納米級加工的物理實質(zhì)就是要切斷原子間的結(jié)合,實現(xiàn)原子或分子的去除。
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